電科裝備下屬紅太陽光電公司自主研制的國內首臺疊舟等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備，近日成功發(fā)貨。

 

 

 

作為光伏電池制備的一大重要工序，常規(guī)PECVD鍍膜設備的市場競爭日趨激烈，主流設備各方面性能大同小異，急需高產能、低成本、高穩(wěn)定性、高工藝品質的新設備機型打破市場競爭格局。

 

紅太陽光電基于15年的光伏裝備領域經驗，以自研PECVD鍍膜設備為基礎，對設備產能、成本、能耗、穩(wěn)定性、工藝可靠性等深研一步，跳出傳統(tǒng)的單管單層舟設計思路，推出新型大管徑高產能疊舟PECVD鍍膜設備。

 

據(jù)介紹，該設備打破市面常規(guī)設備反應室結構，創(chuàng)新采用雙舟疊放設計，單管載片量大幅提升，反應室的空間利用率提升至50%。