離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設備。當前，28納米是芯片應用領域中覆蓋面最廣的成熟制程。中國電科旗下中電科電子裝備集團有限公司連續(xù)突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產品格局，實現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋，切實保障國產芯片生產制造。